真空泵有哪些類型？

(1)按真空泵的工作原理分類 

　?、俪槌?，真空泵抽吸系統(tǒng)中的氣體，并將氣體分子排至系統(tǒng)之外。 

　?、诓都健Ｕ婵毡貌都到y(tǒng)中的氣體分子，直接吸附在泵工作壁面上而不排出系統(tǒng)。 

(2)按真空泵結(jié)構(gòu)分類 

　　①機械式。這類真空泵類似于壓縮機，屬于容積型的有往復式與回轉(zhuǎn)式結(jié)構(gòu)，還有屬于動力式的渦輪分子泵，它們都屬于抽除式真空泵。 

　　②噴射泵。有噴射泵與擴散泵兩種形式，還有將二者組合在一起的增壓泵，也都屬于抽除式真空泵。 

　?、畚健Ｒ揽课锢砘蚧瘜W方法使氣體分子吸著在泵壁表面，屬于捕集式真空泵。 

(3)按真空泵在系統(tǒng)中的工作職能分類 

　　①主抽氣泵。實現(xiàn)所要求壓力的主要工作泵。 

　?、陬A抽氣泵。當主抽氣泵不能在大氣狀態(tài)直接開始抽吸時，需要預抽泵先抽至某一壓力，主抽氣泵方能進入工作。 

　?、矍凹壉?。當主抽氣泵不能將所抽氣體直接排入大氣時，需串接前級泵排送。 

　?、芫S持泵。當主抽氣泵完成所要求的壓力停止工作后，由于系統(tǒng)泄漏或表面蒸發(fā)等原因，壓力可能升高，因此用維持泵繼續(xù)抽吸。